表面形状測定器
TTV、SORI、BOWの測定を行います。
MAX 300×300 まで対応可能です。
ウェハー厚さ測定器
ガラスウェハーの実板厚を測定する接触式の板厚測定器となります。MAX 300Φ までの測定が可能です。
光学顕微鏡
ガラスの表面付着物、内部異物等の確認を行います。
原子間力顕微鏡(AFM)
ガラス基板表面の粗さを測定いたします。
干渉計
光学ガラス基板の平坦度測定を行います。
MAXサイズ 102Φ(解析機能付き MAXサイズ 60Φ)
サーフコム
ガラス基板表面の平坦性を確認いたします。主に液晶用ガラス基板に使用されます。
株式会社 ミツル光学研究所
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